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UKSY-5功能薄膜特性測試儀 型號:UKSY-5
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產品名稱:
UKSY-5功能薄膜特性測試儀 型號:UKSY-5
產品型號:
UKSY-5
產品展商:
國產
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簡單介紹
UKSY-5功能薄膜特性測試儀 型號:UKSY-5四探針測試儀和非晶硅薄膜電導率測量儀組成。四探針測試儀由主機、測試架等部分組成,測試結果由數(shù)字表頭直接顯示。主機主要由高靈敏度直
UKSY-5功能薄膜特性測試儀 型號:UKSY-5
的詳細介紹
UKSY-5功能薄膜特性測試儀 型號:UKSY-5
功能薄膜特性測試儀
型號:UKSY-5
貨號:ZH9392
產品簡介
本測試儀是多用途綜合測量裝置,開展半導體材料的電阻性能的測試。由四探針測試儀和非晶硅薄膜電導率測量儀組成。四探針測試儀由主機、測試架等部分組成,測試結果由數(shù)字表頭直接顯示。主機主要由高靈敏度直流數(shù)字電壓表和高穩(wěn)定度
恒流源組成。非晶硅薄膜電導率測量儀由樣品室、溫控系統(tǒng)、真空系統(tǒng)、高阻測量系統(tǒng)等部分組成。
測量范圍:
電阻范圍:1×
10
6
~1×
10
17
Ω;
電 阻 率:0.001~200Ωcm
電 導 率:0.005~1000s/cm
可測晶片直徑: 200mmX200mm
探 針:碳化鎢或高速鋼
探針間距:1±0.01mm
針間*緣電阻:≥1000MΩ
機械游移率:≤0.3%
本底真空度:≤10Pa
氣壓可控范圍:10~400Pa
襯底加熱 溫度:室溫~200℃
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